本发明公开了一种用于大面积PECVD基片传输结构,主要包括：滚轮通过螺钉固定在传输轴上，传输轴两端通过轴承座固定在真空室底板两侧的固定导轨上，传输轴一端通过键连接两个同步带轮，各传输轴上同步带轮通过同步带相连接，整个传输结构设置于真空室内侧，传输动力由一个磁流体装置引入；在下电极上各滚轮位置上，设置有梯形槽孔，各滚轮含于各梯形槽孔中，传输基片时滚轮露出下电极上面，反应时下电极上升托起基片，滚轮低于下电极上面，此基片传输结构是整轴多点支撑式结构，结构简单，便于调整，无需托针升降装置，减少了磁流体装置的数量，节约成本，避免了现有PECVD基片传输结构中传输轴易产生变形，磁流体装置损坏，基片易变形、卡滞的现象。