一种用于晶体生长的反应器
Abstract:
本申请涉及一种用于晶体生长的反应器,属于晶体材料制备领域。该用于晶体生长的反应器包括:坩埚组件,其包括:坩埚主体、坩埚盖和设置在坩埚主体内的螺旋隔板组件,装载在坩埚主体内的原料升华后至少部分经螺旋隔板组件形成的螺旋气流通道后进行晶体生长;支撑部件和加热部件,坩埚组件还可以转动。本申请的反应器改变传统的气相传输方式,由传统的垂直向上传输转换为螺旋向上传输,实现对晶体生长过程中大颗粒杂质的有效格挡,降低晶体中的缺陷密度,提高晶体质量;并且不会造成气相向上传输困难,无需过高生长温度,降低能耗;本申请可以对真空下的气相传输起到控制作用,真空下的单晶生长速率快、生长温度低,且气相可以有序向上传输,生长的晶体的缺陷少,降本增效。
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