发明授权
- 专利标题: 一种LED外延量子阱生长方法
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申请号: CN201910047651.9申请日: 2019-01-18
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公开(公告)号: CN109860344B公开(公告)日: 2020-01-10
- 发明人: 徐平 , 季辉 , 何鹏
- 申请人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 申请人地址: 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区
- 专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区
- 代理机构: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所
- 代理商 于淼
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/06 ; H01L33/12 ; H01L33/14 ; H01L33/32
摘要:
本发明公开了一种LED外延量子阱生长方法,包括步骤:处理蓝宝石衬底;在所述蓝宝石衬底上生长低温GaN缓冲层,并对所述低温GaN缓冲层进行处理使得在所述低温GaN缓冲层上形成不规则小岛;在所述低温GaN缓冲层上生长非掺杂GaN层;在所述非掺杂GaN层上生长掺杂Si的N型GaN层;在所述掺杂Si的N型GaN层上生长多量子阱层,在所述多量子阱层上生长AlGaN电子阻挡层;在所述AlGaN电子阻挡层上生长掺杂Mg的P型GaN层;以及降温冷却。本发明的生长方法,可以有效地提升LED的发光效率,还可以减少外延片翘曲,有利于提高GaN外延片的合格率,并且使外延层表面变得平整,外观更好。
公开/授权文献
- CN109860344A 一种LED外延量子阱生长方法 公开/授权日:2019-06-07
IPC分类: