一种LED外延量子阱生长方法
摘要:
本发明公开了一种LED外延量子阱生长方法,包括步骤:处理蓝宝石衬底;在所述蓝宝石衬底上生长低温GaN缓冲层,并对所述低温GaN缓冲层进行处理使得在所述低温GaN缓冲层上形成不规则小岛;在所述低温GaN缓冲层上生长非掺杂GaN层;在所述非掺杂GaN层上生长掺杂Si的N型GaN层;在所述掺杂Si的N型GaN层上生长多量子阱层,在所述多量子阱层上生长AlGaN电子阻挡层;在所述AlGaN电子阻挡层上生长掺杂Mg的P型GaN层;以及降温冷却。本发明的生长方法,可以有效地提升LED的发光效率,还可以减少外延片翘曲,有利于提高GaN外延片的合格率,并且使外延层表面变得平整,外观更好。
公开/授权文献
0/0