Invention Publication
- Patent Title: 一种用于同步辐射共聚焦荧光实验的标样制备方法
- Patent Title (English): Standard sample preparation method for synchronous radiation confocal fluorescence experiment
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Application No.: CN201910062762.7Application Date: 2019-01-23
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Publication No.: CN109839398APublication Date: 2019-06-04
- Inventor: 闫帅 , 张丽丽 , 王华 , 常广才 , 岳帅鹏 , 杨一鸣
- Applicant: 中国科学院上海应用物理研究所
- Applicant Address: 上海市嘉定区嘉罗公路2019号
- Assignee: 中国科学院上海应用物理研究所
- Current Assignee: 中国科学院上海应用物理研究所
- Current Assignee Address: 上海市嘉定区嘉罗公路2019号
- Agency: 上海智信专利代理有限公司
- Agent 邓琪; 杨希
- Main IPC: G01N23/223
- IPC: G01N23/223 ; G01N23/04

Abstract:
本发明涉及一种用于同步辐射共聚焦荧光实验的标样制备方法,其包括以下步骤:步骤S101,在一硅衬底的整个顶面上沉积一铜薄膜,并切割带有所述铜薄膜的硅衬底;步骤S102,刻蚀所述铜薄膜以及紧邻该铜薄膜的具有部分厚度的所述硅衬底,以形成一铜条带和一第一衬底部;以及步骤S103,刻蚀所述铜条带以及第一衬底部,以形成一铜系带和一第二衬底部。通过本发明制备的标样可以便于更精确地校准同步辐射共聚焦荧光实验中的设备,提升共聚焦微元标定的准确度。
Public/Granted literature
- CN109839398B 一种用于同步辐射共聚焦荧光实验的标样制备方法 Public/Granted day:2021-05-14
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