本发明涉及参考气室、带参考气室的光电探测器及其制备方法和设备，带参考气室的光电探测器包括光电探测器本体，光电探测器本体内设有参考气室，参考气室内填充有被测气体，且参考气室通过焊料的加热融化焊接方式密封；焊料包括金属焊料、合金焊料、玻璃焊料和陶瓷焊料的至少一种；加热融化焊接方式包括脉冲加热方式、恒温加热方式、气体加热方式和激光加热方式中的至少一种。本发明能对参考气室内的被测气体进行检测，对系统中激光器波长进行实时较准；光电探测器自带参考气室，提高了整体集成度，降低了成本，采用焊料加热融化焊接方式对参考气室进行密封，气密性大大提高，使用寿命大大延长，适用于不同气体的激光浓度检测仪。