基于光学平面条纹图像处理的干涉测量系统误差标定方法
摘要:
本发明公开了一种基于光学平面条纹图像处理的干涉测量系统误差标定方法,将测量系统视作一个整体,先拍摄被测对象的一组干涉条纹图像,然后保持测量光学系统不动,将光学平面安装到被测对象的位置并拍摄其干涉条纹图像,最后通过处理光学平面条纹图像来标定实际测量光学系统的误差。该方法操作简单,仅需拍摄并处理一组光学平面的干涉条纹图像就可以标定测量光学系统误差,并补偿被测曲面的测量结果。该方法应用范围较广,可以用于常见的几种干涉测量系统的误差标定,提高干涉测量系统的精度。采用该方法能够统一仿真计算和实际测量光学系统之间的参数,从而实现计算机仿真计算的结果作为测量基准,避免使用实物基准,降低了测量成本,提高了测量的灵活性。
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