一种热电子等离子体制备类金刚石涂层的方法，其包括打底过渡层及类金刚石涂层；其通过利用电磁增强磁控溅射制备打底过渡层，随后既可以利用弧光强流热电子等离子体也可以利用灯丝热电子等离子体制备类金刚石涂层；其中弧光强流热电子是通过中心阳极将带有挡板的电弧放电过程中的电子引出，灯丝热电子是通过加热高温灯丝，灯丝发射电子在磁场及电场的作用引出，热电子在向阳极运动过程中，与气体发生碰撞并离化，离化的碳离子沉积在工件表面获得类金刚石涂层；弧光强流热电子及灯丝热电子束流大，在电场及磁场作用下碳氢气体的离化率急剧增大，增大了沉积速率。