高寿命电极棒
摘要:
本发明公开了一种高寿命电极棒,包括陶瓷体、钛棒和底座,钛棒包括导电体,以及可拆卸设置在导电体一端的引电头,其中导电体呈圆柱状,底座固套于陶瓷体的下端,且位于引电头的周向外侧,引电头贯穿底座的下表面,陶瓷体内设有用于安装钛棒的安装腔,安装腔的直径为ΦA;导电体远离引电头的一端具有呈柱状的供电头,供电头露出安装腔,并与陶瓷体的端面紧贴,供电头紧贴陶瓷体的一端具有圆形遮挡面,该圆形遮挡面的直径为ΦB,所述ΦB大于ΦA。通过改变钛棒结构,防止电流击穿对绝缘涂层及铝母材的破坏,提高下部电极的整体寿命,确保电极棒具有良好的导电效率,同时提高电极棒特定部位涂层的绝缘性,提高刻蚀品的产能。
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