用于3D堆叠器件的密度改善的倒置阶梯触点
摘要:
一种半导体堆叠器件,包括通过第一多个电介质层彼此分开的第一多个器件层,耦合到第一多个器件层中的器件层的触点部分的第一导电过孔,通过第二多个电介质层彼此分开的第二多个器件层,耦合到第二多个器件层中的器件层的触点部分的第二导电过孔。第一导电过孔延伸到半导体堆叠器件的正面,第二导电过孔延伸到半导体堆叠器件的背面。第一多个器件层在第一方向上形成阶梯图案,第二多个器件层在从第一方向反转的第二方向上形成阶梯图案。
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