发明公开
- 专利标题: 用于3D堆叠器件的密度改善的倒置阶梯触点
- 专利标题(英): INVERTED STAIRCASE CONTACT FOR DENSITY IMPROVEMENT TO 3D STACKED DEVICES
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申请号: CN201680088898.X申请日: 2016-09-29
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公开(公告)号: CN109729742A公开(公告)日: 2019-05-07
- 发明人: A·利拉科 , P·莫罗 , R·米恩德鲁
- 申请人: 英特尔公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚
- 专利权人: 英特尔公司
- 当前专利权人: 英特尔公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 林金朝; 王英
- 国际申请: PCT/US2016/054379 2016.09.29
- 国际公布: WO2018/063226 EN 2018.04.05
- 进入国家日期: 2019-02-28
- 主分类号: H01L27/06
- IPC分类号: H01L27/06 ; H01L27/088 ; H01L21/8234 ; H01L27/11573 ; H01L27/11575 ; H01L27/11582
摘要:
一种半导体堆叠器件,包括通过第一多个电介质层彼此分开的第一多个器件层,耦合到第一多个器件层中的器件层的触点部分的第一导电过孔,通过第二多个电介质层彼此分开的第二多个器件层,耦合到第二多个器件层中的器件层的触点部分的第二导电过孔。第一导电过孔延伸到半导体堆叠器件的正面,第二导电过孔延伸到半导体堆叠器件的背面。第一多个器件层在第一方向上形成阶梯图案,第二多个器件层在从第一方向反转的第二方向上形成阶梯图案。
公开/授权文献
- CN109729742B 用于3D堆叠器件的密度改善的倒置阶梯触点 公开/授权日:2023-08-04
IPC分类: