发明公开
- 专利标题: 铁电存储器件及其制造方法
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申请号: CN201810752120.5申请日: 2018-07-10
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公开(公告)号: CN109727982A公开(公告)日: 2019-05-07
- 发明人: 刘香根
- 申请人: 爱思开海力士有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 爱思开海力士有限公司
- 当前专利权人: 爱思开海力士有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京弘权知识产权代理事务所
- 代理商 许伟群; 李少丹
- 优先权: 10-2017-0143796 2017.10.31 KR
- 主分类号: H01L27/11507
- IPC分类号: H01L27/11507 ; B82Y10/00
摘要:
本发明公开了一种铁电存储器件以及其制造方法。根据本公开的一个实施例的铁电存储器件包括:衬底;铁电材料层,其设置在衬底上;栅电极层,其设置在铁电材料层上;以及极化切换晶种层,其设置在铁电材料层与栅电极层之间。
公开/授权文献
- CN109727982B 铁电存储器件及其制造方法 公开/授权日:2023-07-18
IPC分类: