- 专利标题： 一种基于光腔衰荡光谱技术检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统
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申请号： CN201910152807.X申请日： 2019-02-28
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公开(公告)号： CN109682777B公开(公告)日： 2024-01-23
- 发明人: 张文申 , 荀其宁 , 胡国星 , 冯典英 , 许峰 , 侯倩倩 , 赵晓刚 , 刘霞 , 张雨 , 宋磊
- 申请人： 山东非金属材料研究所
- 申请人地址： 山东省济南市天桥区田家庄东路3号
- 专利权人： 山东非金属材料研究所
- 当前专利权人： 山东非金属材料研究所
- 当前专利权人地址： 山东省济南市天桥区田家庄东路3号
- 代理机构： 北京元本知识产权代理事务所
- 代理商 岳秀梅
- 主分类号： G01N21/39
- IPC分类号： G01N21/39 ; G01N21/01
摘要：
一种基于光腔衰荡光谱技术检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统，包括依次在光轴上设置的DBF激光器，光学调制器，第一凸镜，小孔和第二凸镜；还包括两个设置于第二凸镜后端的第一、二矩形棱镜，第一矩形棱镜的后端还依次设置有第一滤波片，第一光腔，第一探测装置，第二矩形棱镜的后端还依次设置有第二滤波片，第二光腔，第二探测装置，第一探测装置和第二探测装置分别连接数据采集处理器，系统结构简单，且测量精度高。
公开/授权文献
- CN109682777A 一种基于光腔衰荡光谱技术检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统 公开/授权日：2019-04-26
IPC分类:
