- 专利标题: 全氮化钛集流体/电极超级电容器及其制备方法
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申请号: CN201910056547.6申请日: 2019-01-22
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公开(公告)号: CN109659156B公开(公告)日: 2020-02-18
- 发明人: 周大雨 , 孙纳纳 , 杨旭 , 马晓倩
- 申请人: 大连理工大学
- 申请人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 代理机构: 大连理工大学专利中心
- 代理商 李晓亮; 潘迅
- 主分类号: H01G11/28
- IPC分类号: H01G11/28 ; H01G11/30 ; H01G11/68 ; H01G11/84 ; H01G11/86
摘要:
一种全氮化钛集流体/电极超级电容器及其制备方法,属于新能源材料与器件技术领域。首先,清洗去除衬底表面的杂质;然后在衬底表面沉积一层具有高致密度、高导电性的TiN薄膜作为电子输运集流体材料,再通过调控沉积工艺参数改变薄膜表面原子扩散和形核生长等机制,在集流体上直接继续生长一层疏松多孔、低导电性的TiN薄膜作为电极材料。本发明集流体和电极同为TiN连续生长,通过简单地改变薄膜沉积工艺参数对材料的性能进行剪裁,工艺简便易行、成本低,薄膜沉积技术选择种类多、工艺适用性强,解决了异类集流体和电极材料间附着力差、晶格失配和热膨胀系数差异导致分层开裂以及接触电阻大的问题,将极大提高超级电容器的功率密度、热稳定性和长期服役可靠性。
公开/授权文献
- CN109659156A 全氮化钛集流体/电极超级电容器及其制备方法 公开/授权日:2019-04-19