- 专利标题： 一种光强分布的建模方法、装置、电子设备及存储介质
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申请号： CN201910011353.4申请日： 2019-01-07
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公开(公告)号： CN109657402B公开(公告)日： 2021-02-26
- 发明人: 何毅 , 林妩媚 , 廖志杰 , 刘卫静 , 邢廷文
- 申请人： 中国科学院光电技术研究所
- 申请人地址： 四川省成都市双流350信箱
- 专利权人： 中国科学院光电技术研究所
- 当前专利权人： 中国科学院光电技术研究所
- 当前专利权人地址： 四川省成都市双流350信箱
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 周天宇
- 主分类号： G06F30/20
- IPC分类号： G06F30/20
摘要：
本发明公开了一种光强分布的的建模方法，应用于光刻照明均匀性补偿技术领域，包括：获取输入参数，输入参数包括视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，根据视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，确定补偿平面的光强分布，根据补偿平面的光强分布和光瞳能量分布，确定视场面的输出光强分布。本发明还公开了一种光强分布的建模装置、电子设备及存储介质，可为光刻照明系统内均匀性补偿装置的设计和仿真提供有效依据。
公开/授权文献
- CN109657402A 一种光强分布的建模方法、装置、电子设备及存储介质 公开/授权日：2019-04-19
