- 专利标题： 通过锂化和脱锂的可调谐铌酸锂谐振器和滤波器
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申请号： CN201780054784.8申请日： 2017-09-06
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公开(公告)号： CN109643981B公开(公告)日： 2023-10-31
- 发明人: A.萨马劳
- 申请人： 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址： 德国斯图加特
- 专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址： 德国斯图加特
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 杨倩; 王丽辉
- 国际申请： PCT/EP2017/072389 2017.09.06
- 国际公布： WO2018/046561 EN 2018.03.15
- 进入国家日期： 2019-03-06
- 主分类号： H03H9/02
- IPC分类号： H03H9/02 ; H10N30/079
摘要：
一种表面声波(SAW)装置(100)包括：硅衬底(108)；由铌酸锂形成的压电衬底(102)；插置在所述硅衬底与所述压电衬底之间的氧化铝层(110)；所述压电衬底上的至少一个电极(104、106)。被构造成改变所述压电衬底的充电中心的调谐电路(120)可以包括可调谐电阻器(124)和/或电压源(122)。
公开/授权文献
- CN109643981A 通过锂化和脱锂的可调谐铌酸锂谐振器和滤波器 公开/授权日：2019-04-16
