转盘式集成电路芯片搬运装置用真空分配模块及搬运装置
Abstract:
本发明公开了一种转盘式集成电路芯片搬运装置用真空分配模块,包括真空吸盘,所述真空吸盘上设有若干按压式真空吸笔,所述真空吸笔沿真空吸盘周向均匀分布,吸口朝下;真空吸盘的上侧设有真空分配仓,所述真空分配仓通过气管与各真空吸笔连通。通过本申请的真空分配模块可实现各真空吸笔真空度的均匀分配,且使到达每一真空吸笔中的真空度均较高。还公布了一种转盘式集成电路芯片搬运装置,包括转台伺服电机、真空仓安装板、独立下压机构及上述真空分配模块,该装置可保证转盘在高速运行时芯片的高精度定位。
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