节能环保型多晶硅生产装置
摘要:
本发明公开了一种节能环保型多晶硅生产装置,包括:第一反应器;两个水平隔板,将第一反应器内空间分隔为上部的进气空间、中部的反应空间以及下部的出气空间;所述反应空间被分隔为多个相对独立的小反应空间;且每个小反应空间的所有内表面均铺满反应板,所述反应板由彼此平行的两个滤板构成,二者之间平铺有Ce‑Pd/SiO2负载型催化剂;第二反应器;多根硅棒电极,所述硅棒电极表面涂覆一层厚度1‑1.5mm的Ce‑Cu/SiO2催化剂。本发明结构简单,可以将多晶硅生产的副产物SiCl4先催化转化为SiHCl3,再进一步催化转化得到多晶硅,由于直接利用副产物SiCl4作为生产原料,降低了多晶硅生产成本,而且解决了多晶硅生产副产物SiCl4处理费用高、难度大的问题,进一步提高了生产效益。
公开/授权文献
0/0