- 专利标题： 一种蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置
-
申请号： CN201910057935.6申请日： 2019-01-22
-
公开(公告)号： CN109554665B公开(公告)日： 2021-01-15
- 发明人: 胡许武 , 刘阳升 , 孔梦夏 , 司东辉 , 牟山 , 崔艳 , 王钰
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构： 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 郭润湘
- 主分类号： C23C14/04
- IPC分类号： C23C14/04 ; C23C14/24 ; H01L51/56
摘要：
本发明公开了一种蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置，能够降低显示面板的加工工艺的复杂度，提高显示面板的良率。其中的蒸镀方法包括：依次采用至少两个掩膜板具有的开口区域对衬底基板进行蒸镀，各所述掩模板的开口区域在所述衬底基板上形成的各蒸镀子图案构成互补图案，且各所述蒸镀子图案拼接形成的蒸镀图案对应具有孤立镂空图案的显示区域。
公开/授权文献
- CN109554665A 一种蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置 公开/授权日：2019-04-02
IPC分类:
