发明授权
- 专利标题: 一种磁控溅射门防下垂辅助装置及方法
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申请号: CN201910050990.2申请日: 2019-01-21
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公开(公告)号: CN109536910B公开(公告)日: 2023-06-02
- 发明人: 伍志军
- 申请人: 苏州赛森电子科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市张家港市福新路2号B06一楼赛森电子
- 专利权人: 苏州赛森电子科技有限公司
- 当前专利权人: 苏州赛森电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市张家港市福新路2号B06一楼赛森电子
- 代理机构: 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司
- 代理商 高远
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35
摘要:
本发明公开了一种磁控溅射门防下垂辅助装置,涉及防下垂技术领域,包括连接体、辅助装置。连接体左端具有调整体,连接体右端固定在磁控溅射门上。辅助装置固定在磁控溅射设备上,连接体与辅助装置位于相对方向,调整体位于辅助装置内,辅助装置与调整体具有一定间隙,辅助说装置包括复位件,复位件具有导向面,复位件为刚性材料,复位件位于调整体一侧,复位件为弧形。本发明在打开或关闭磁控溅射门过程中,使得调整体刚性接触复位件对磁控溅射门进行复位,达到保证金属腔体的密封性的目的。其中,调整体和复位件接触过程极为短暂,只有在磁控溅射门密封时才进行接触,极大减小了调整体和复位件的摩擦,有利于长时间保证金属腔体密封性。
公开/授权文献
- CN109536910A 一种磁控溅射门防下垂辅助装置及方法 公开/授权日:2019-03-29
IPC分类: