一种磁控溅射门防下垂辅助装置及方法
摘要:
本发明公开了一种磁控溅射门防下垂辅助装置,涉及防下垂技术领域,包括连接体、辅助装置。连接体左端具有调整体,连接体右端固定在磁控溅射门上。辅助装置固定在磁控溅射设备上,连接体与辅助装置位于相对方向,调整体位于辅助装置内,辅助装置与调整体具有一定间隙,辅助说装置包括复位件,复位件具有导向面,复位件为刚性材料,复位件位于调整体一侧,复位件为弧形。本发明在打开或关闭磁控溅射门过程中,使得调整体刚性接触复位件对磁控溅射门进行复位,达到保证金属腔体的密封性的目的。其中,调整体和复位件接触过程极为短暂,只有在磁控溅射门密封时才进行接触,极大减小了调整体和复位件的摩擦,有利于长时间保证金属腔体密封性。
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