一种基于石墨烯加热电极的加载条形波导热光开关及其制备方法
摘要:
一种基于石墨烯加热电极的加载条形波导热光开关及其制备方法,属于有机聚合物平面光波导器件及其制备技术领域。整个器件为MZI光波导结构,从左到右,由输入直波导,3‑dB Y分支分束器,两条平行的第一干涉臂和第二干涉臂组成的器件调制区,3‑dB Y分支耦合器和输出直波导所构成;从下至上,MZI光波导结构器件调制区依次由硅片衬底、二氧化硅下包层、光波导芯层、石墨烯加热电极、加载条形波导、聚合物上包层和金属加热电极组成。本发明器件能够使电极产生的热场与波导中传输的光场充分重叠,可以有效地提高电极的加热效率,达到了降低热光开关器件功耗的目的。
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