本发明提供了一种薄膜沉积设备及薄膜沉积方法、显示装置，涉及显示技术领域，以在提升薄膜的封装效果的同时，提高OLED显示装置的使用寿命。其中上述薄膜沉积设备包括反应腔室，还包括至少两套成膜机构，该至少两套成膜机构分别对应待成膜基板的至少两个成膜区域；每套成膜机构配置为在反应腔室内形成一种成膜环境，且各套成膜机构所形成的成膜环境中至少一项工艺参数不同，以分别在对应的成膜区域形成薄膜性能不同的薄膜。上述薄膜沉积设备形成OLED器件的封装薄膜。