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振动传感器
Abstract:
本发明涉及一种振动传感器,振动传感器具有膜片和驱动器,膜片能够被激励以进行振动,且驱动器用于使膜片振动并且/或者检测膜片的振动,其中,驱动器是电磁作用型驱动器并包括永磁体、线圈和至少一个耦接到膜片的螺栓,其中,驱动器具有阻尼元件,阻尼元件实施并布置成其抑制干涉模式的程度强于其抑制有效模式的程度。
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