- 专利标题: 一种制备pH稳定性提高的碳化硅化学机械抛光液的方法
- 专利标题(英): Method for preparing silicon carbide chemical mechanical polishing solution with improved pH stability
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申请号: CN201811303464.4申请日: 2018-11-02
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公开(公告)号: CN109321141A公开(公告)日: 2019-02-12
- 发明人: 窦文涛 , 宗艳民 , 梁庆瑞 , 王含冠 , 其他发明人请求不公开姓名
- 申请人: 山东天岳先进材料科技有限公司
- 申请人地址: 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01
- 专利权人: 山东天岳先进材料科技有限公司
- 当前专利权人: 山东天岳先进材料科技有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01
- 代理机构: 济南千慧专利事务所
- 代理商 吴绍群
- 主分类号: C09G1/02
- IPC分类号: C09G1/02
摘要:
本发明提出了一种制备pH稳定性提高的碳化硅化学机械抛光液的方法,所述制备方法包括以下步骤:用表面改性剂对高硬度磨料分散液进行表面改性,再依次加入pH稳定剂和氧化剂,其中表面改性剂为有机酸。本发明的抛光液在进行化学机械抛光过程能很好的保持pH值的稳定性,并且抛光液的分散稳定性好且分散均匀。本发明由于该抛光液的制备方法中加入了pH稳定剂,使得该抛光液在进行化学机械抛光过程中的pH值稳定性更强,并且在抛光液中使用有机酸表面改性剂对高硬度磨料分散液进行表面改性,使得抛光液不容易发生硬团聚。本发明的抛光液对环境无污染,可以采用循环供料的方式使用。
公开/授权文献
- CN109321141B 一种制备pH稳定性提高的碳化硅化学机械抛光液的方法 公开/授权日:2019-12-03