一种制备pH稳定性提高的碳化硅化学机械抛光液的方法
摘要:
本发明提出了一种制备pH稳定性提高的碳化硅化学机械抛光液的方法,所述制备方法包括以下步骤:用表面改性剂对高硬度磨料分散液进行表面改性,再依次加入pH稳定剂和氧化剂,其中表面改性剂为有机酸。本发明的抛光液在进行化学机械抛光过程能很好的保持pH值的稳定性,并且抛光液的分散稳定性好且分散均匀。本发明由于该抛光液的制备方法中加入了pH稳定剂,使得该抛光液在进行化学机械抛光过程中的pH值稳定性更强,并且在抛光液中使用有机酸表面改性剂对高硬度磨料分散液进行表面改性,使得抛光液不容易发生硬团聚。本发明的抛光液对环境无污染,可以采用循环供料的方式使用。
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