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发明公开
CN109142788A 一种基于半球微纳腔机械光学耦合的高精度光机加速度计 无效 - 驳回

  • 专利标题： 一种基于半球微纳腔机械光学耦合的高精度光机加速度计
  • 专利标题（英）： High-precision optical-mechanical accelerometer based on hemispherical micro-nano cavity mechanical-optical coupling
  • 申请号： CN201811102444.0
    申请日： 2018-09-20
  • 公开(公告)号： CN109142788A
    公开(公告)日： 2019-01-04
  • 发明人: 杨波 , 郭鑫 , 李成
  • 申请人： 东南大学
  • 申请人地址： 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
  • 专利权人： 东南大学
  • 当前专利权人： 东南大学
  • 当前专利权人地址： 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
  • 代理机构： 南京众联专利代理有限公司
  • 代理商 叶涓涓
  • 主分类号： G01P15/093
  • IPC分类号： G01P15/093 ;  G01P15/097 ;  G01P15/13 ;  G01P15/08
一种基于半球微纳腔机械光学耦合的高精度光机加速度计
摘要：
本发明公开了一种基于半球微纳腔机械光学耦合的高精度光机加速度计，包括：上层平面腔硅微结构、中层半球腔硅微结构以及下层布有电极引线的玻璃基底；上层结构通过环形固定锚点的上端键合在中层结构之上，中层结构通过环形固定锚点的下端键合在下层结构之上；上层结构包括微纳光纤、平面腔、上层抗反射涂层、上层平面镜面涂层、绝缘层、反馈电极以及间距调整电极；中层结构包括半球腔质量块、下层抗反射涂层、下层半球形镜面涂层、环形固定锚点以及若干弹性悬臂梁；下层结构包括反馈电极、间距调整电极、信号引线以及玻璃衬底。本发明采用光学信号作为微加速计的测量信号，并采用了半球形的光学微纳腔，灵敏度高、动态范围大。
摘要（英）：

The invention discloses a high-precision optical-mechanical accelerometer based on hemispherical micro-nano cavity mechanical-optical coupling. The high-precision optical-mechanical accelerometer comprises an upper planar cavity silicon microstructure, a middle hemispherical cavity silicon microstructure and a lower glass substrate with electrode leads. The upper structure is bonded on the middlestructure through the upper end of the annular fixed anchor points, and the middle structure is bonded on the lower structure through the lower end of the annular fixed anchor points. The upper structure comprises micro-nano optical fibers, a planar cavity, an upper antireflection coating layer, an upper mirror coating layer, an insulating layer, a feedback electrode and a spacing adjusting electrode. The middle structure comprises a hemispherical cavity mass, a lower antireflection coating layer, a lower hemispherical mirror coating layer, the annular fixed anchor points and multiple elasticcantilever beams. The lower structure comprises a feedback electrode, a spacing adjusting electrode, a signal lead and the glass substrate. The optical signal is used as the measuring signal of the micro accelerometer and the hemispherical optical micro-nano cavity is used so that the sensitivity is high and the dynamic range is large.

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