• 专利标题: 一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置
  • 专利标题(英): 3D printing-based tunnel magnetoresistance accelerometer device with horizontal shaft sensitivity
  • 申请号: CN201811049089.5
    申请日: 2018-09-10
  • 公开(公告)号: CN109142785A
    公开(公告)日: 2019-01-04
  • 发明人: 杨波李成冯雨王斌龙
  • 申请人: 东南大学
  • 申请人地址: 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
  • 专利权人: 东南大学
  • 当前专利权人: 东南大学
  • 当前专利权人地址: 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
  • 代理机构: 南京众联专利代理有限公司
  • 代理商 叶涓涓
  • 主分类号: G01P15/08
  • IPC分类号: G01P15/08 G01P15/105 G01P15/13
一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置
摘要:
本发明提供如了一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置,包括:顶部隧道磁阻传感元件结构、中部敏感部件结构、底部隧道磁阻传感元件结构,中部敏感部件结构为3D打印而成;中部结构通过3D立体支撑梁支撑在基座之上,分别位于中部结构的上下两侧,且关于中部结构上下对称布置。本发明采用3D打印代替硅微加工工艺,尺寸精确、加工便捷;敏感部件采用3D立体支撑梁,在测量上具有可靠性好、灵敏度高、抗干扰能力强等优点,支撑梁和质量块都使用尼龙材料进行3D打印而来,其在水平方向有较好的位移能力,同时在垂直方向有更好的抑制能力;立体支撑梁采用双层“U型”梁相反布置,能有效增强敏感部件的稳定性,提高装置的可靠性。
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