应变传感器及其制造方法
摘要:
本发明提供一种工艺简单、可控和成本低、并且具有高灵敏度的应变传感器以及其制造方法。该应变传感器通过以下步骤制造:(1)准备由柔性材料构成的柔性衬底;(2)将柔性衬底的厚度方向的一个表面浸入浓度为50~78重量%的硫酸溶液中,进行氧化处理,在上述表面形成氧化薄膜;(3)在氧化薄膜上涂布导电涂料,干燥后形成导电层;(4)在柔性衬底的两端且在导电层上涂布导电糊料,干燥后形成一对电极;(5)在导电层及一对电极上涂覆由柔性材料构成的保护层。本发明的应变传感器可以通过电阻的变化实时监测应变变化,具有高灵敏度,在智能假肢、人造皮肤、生物医疗、柔性机器人等领域有广泛的应用前景。
公开/授权文献
0/0