具有金属柱的多腔室封装结构及其制作方法
摘要:
本发明揭示了一种具有金属柱的多腔室封装结构及其制作方法,封装结构包括:封装基板,具有间隔分布的第一、第二、第三腔室;第一滤波器芯片,位于第一腔室,具有第一电极;第二滤波器芯片,位于第二腔室,具有第二电极;放大器芯片,位于第三腔室,具有第三电极;RF开关芯片,设置于基板上方,具有第四电极,第一、第二、第三电极位于同侧;互连结构导通第一、第二、第三、第四电极,互连结构包括金属柱,用于第四电极与第一、第二、第三电极的互连。本发明将多个芯片封装于同一封装基板,实现芯片高度集成;滤波器、放大器及RF开关芯片呈上下分布,提高基板利用率,简化互连结构;滤波器及放大器芯片内嵌于腔室中,使得封装结构更加轻薄。
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