臭氧气体的浓缩方法以及臭氧气体的浓缩装置
摘要:
提供一种臭氧气体的浓缩方法以及实现该浓缩方法的臭氧气体的浓缩装置(1)。臭氧气体的浓缩方法包括如下工序:使第一吸附容器(20A)内的吸附剂吸附臭氧气体;将浓缩容器(30)的内部在不与第一吸附容器(20A)连通的状态下进行减压;排出第一吸附容器(20A)内的一部分气体;通过使第一吸附容器(20A)内的臭氧气体脱附并输送到浓缩容器(30)内,从而向浓缩容器(30)内导入第一浓缩混合气体;使第二吸附容器(20B)内的吸附剂吸附臭氧气体;切换为连通导入有第一浓缩混合气体的浓缩容器(30)与保持吸附有臭氧气体的吸附剂的第二吸附容器(20B)的状态,向浓缩容器(30)内导入第二浓缩混合气体。
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