发明授权
- 专利标题: 一种紫外正性光刻胶
-
申请号: CN201810955478.8申请日: 2018-08-21
-
公开(公告)号: CN109062008B公开(公告)日: 2022-03-11
- 发明人: 宋振 , 杨志锋 , 黄顺礼 , 陆煜东 , 郑安丽 , 许振良 , 林柳武
- 申请人: 西陇科学股份有限公司
- 申请人地址: 广东省汕头市潮汕路西陇中街1-3号
- 专利权人: 西陇科学股份有限公司
- 当前专利权人: 西陇科学股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省汕头市潮汕路西陇中街1-3号
- 代理机构: 汕头市高科专利代理有限公司
- 代理商 唐瑞玉
- 主分类号: G03F7/039
- IPC分类号: G03F7/039
摘要:
本发明提供了一种适合于在UV光源下曝光的紫外正性光刻胶,该光刻胶是由质量百分比为1‑10%的拥有特殊结构的重氮萘醌磺酸酯类光敏剂、10‑50%的线性酚醛树脂、0.2‑1%的增感剂、0.1‑1%增韧剂、0.4‑1%的附着力促进剂、流平剂0.2‑1%和余量溶剂组成;其中拥有特殊结构的重氮萘醌磺酸酯类光敏剂是由1,1‑对羟基苯基‑[1‑联苯基‑4‑异丙基‑(1‑邻甲基‑4‑苯酚)]丙烷和2‑重氮‑1‑萘醌‑5‑磺酰氯按1:2的投料量通过取代反应或酯化反应得到;线性酚醛树脂为线性酚醛树脂一和线性酚醛树脂二的混合物,线性酚醛树脂一和线性酚醛树脂二的重量比为2‑8:8‑2。本发明的紫外正性光刻胶,比通常的重氮萘醌磺酸酯‑酚醛树脂体系光刻胶拥有更高的分辨率、光敏性和尺寸还原性。
公开/授权文献
- CN109062008A 一种紫外正性光刻胶 公开/授权日:2018-12-21
IPC分类: