一种紫外正性光刻胶
摘要:
本发明提供了一种适合于在UV光源下曝光的紫外正性光刻胶,该光刻胶是由质量百分比为1‑10%的拥有特殊结构的重氮萘醌磺酸酯类光敏剂、10‑50%的线性酚醛树脂、0.2‑1%的增感剂、0.1‑1%增韧剂、0.4‑1%的附着力促进剂、流平剂0.2‑1%和余量溶剂组成;其中拥有特殊结构的重氮萘醌磺酸酯类光敏剂是由1,1‑对羟基苯基‑[1‑联苯基‑4‑异丙基‑(1‑邻甲基‑4‑苯酚)]丙烷和2‑重氮‑1‑萘醌‑5‑磺酰氯按1:2的投料量通过取代反应或酯化反应得到;线性酚醛树脂为线性酚醛树脂一和线性酚醛树脂二的混合物,线性酚醛树脂一和线性酚醛树脂二的重量比为2‑8:8‑2。本发明的紫外正性光刻胶,比通常的重氮萘醌磺酸酯‑酚醛树脂体系光刻胶拥有更高的分辨率、光敏性和尺寸还原性。
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