掩膜板、掩膜装置及其制造方法和掩膜制造设备
摘要:
本发明公开了一种掩膜板、掩膜装置及其制造方法和掩膜制造设备。该掩膜板包括图案部,所述图案部在第一方向上的边缘设置有第一拉伸配合结构,所述图案部在第二方向上的边缘设置有第二拉伸配合结构,所述第一方向和所述第二方向交叉设置。本发明中在第一方向和第二方向两个方向上对图案部施加拉力,避免了掩膜板在不同方向上的形变不一致的问题,从而避免了掩膜板产生褶皱,进而提高了发光器件的生产良率。
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