- 专利标题: 掩膜板、掩膜装置及其制造方法和掩膜制造设备
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申请号: CN201710408986.X申请日: 2017-06-02
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公开(公告)号: CN108977761B公开(公告)日: 2020-04-03
- 发明人: 罗昶 , 梁逸南 , 吴海东 , 吴建鹏
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 汪源; 陈源
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04 ; H01L51/00
摘要:
本发明公开了一种掩膜板、掩膜装置及其制造方法和掩膜制造设备。该掩膜板包括图案部,所述图案部在第一方向上的边缘设置有第一拉伸配合结构,所述图案部在第二方向上的边缘设置有第二拉伸配合结构,所述第一方向和所述第二方向交叉设置。本发明中在第一方向和第二方向两个方向上对图案部施加拉力,避免了掩膜板在不同方向上的形变不一致的问题,从而避免了掩膜板产生褶皱,进而提高了发光器件的生产良率。
公开/授权文献
- CN108977761A 掩膜板、掩膜装置及其制造方法和掩膜制造设备 公开/授权日:2018-12-11
IPC分类: