一种圆柱形复合加热器的制备方法
Abstract:
本发明涉及一种圆柱形复合加热器的制备方法,该方法包括,圆柱形加热器的基体为热解氮化硼基体,将热解氮化硼基体表面打磨至基体表面粗糙度为Ra:0.5~4.0微米,然后涂覆一层厚度为10-300μm的热解石墨涂层,热解石墨涂层的热膨胀系数与热解氮化硼基体的热膨胀系数差值小于等于1.5×10-6/℃;将涂覆热解石墨涂层后的基体表面加工花纹,将加工完花纹后的基本再次装入CVD反应炉内,涂覆一层厚度为10-300μm热解氮化硼涂层,冷却,即得圆柱形复合加热器。本发明的圆柱形复合加热器可以在1500℃以内连续升温降温170-300次不起层、不分层,有效地提高了加热器的使用寿命,并且加热效率保持在78%以上。
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