用于超高真空的导轨输送装置
摘要:
本发明提供一种用于超高真空的导轨输送装置,其包括单个导轨和至少一个滑车组件,滑车组件与导轨配合并且在导轨上运动,滑车组件包括滑车板和支撑滑车板的跨骑组件,滑车组件通过跨骑组件跨骑在导轨上,跨骑组件以相对可旋转的方式支撑滑车板。本发明选用无磁、低出气率且高硬度的材料,滚动部件选用陶瓷轴承,不需要专门润滑,避免了对真空环境的破坏,保证了超高真空无磁环境的实验使用。
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