发明授权
- 专利标题： 光强分布的检测系统
-
申请号： CN201710271505.5申请日： 2017-04-24
-
公开(公告)号： CN108731800B公开(公告)日： 2020-07-10
- 发明人: 黄磊 , 朱钧 , 金国藩 , 范守善
- 申请人： 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 申请人地址： 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室
- 专利权人： 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 当前专利权人： 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室
- 主分类号： G01J1/42
- IPC分类号： G01J1/42
摘要：
一种光强分布的检测系统，包括一设置于生长基底表面的碳纳米管阵列，一冷却装置、一反射镜和一成像元件。所述冷却装置设置在所述生长基底与所述成像元件之间，所述冷却装置用于冷却所述生长基底使所述生长基底与所述碳纳米管阵列的接触表面维持恒温。所述反射镜与碳纳米管阵列间隔设置，且所述碳纳米管阵列设置于反射镜与基底之间。所述成像元件与所述冷却装置间隔设置。
公开/授权文献
- CN108731800A 光强分布的检测系统 公开/授权日：2018-11-02
