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一种废旧硅片回收吸尘装置
Abstract:
本发明公开了一种废旧硅片回收吸尘装置,包括底座,所述底座上通过弹性元件支撑有上端开口的盒体,所述盒体的底部安装有振动装置,所述盒体上设置有罩壳,所述罩壳的顶部与气管的一端相连,所述气管的内腔和罩壳的内腔相连通,所述气管的另一端连接有吸尘装置,所述吸尘装置通过管路连接有积尘箱;本发明设置有底座、弹性元件、盒体、振动装置、吸尘装置和积尘箱,废旧硅片放置于盒体中,启动振动装置,在振动装置和弹性元件的作用下,盒体发生振动,放置于盒体中的废旧硅片和粉尘也随之振动,废旧硅片粘连的粉尘被阵落,粉尘被扬起,被吸尘装置吸走输送至积尘箱中。
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