一种发光二极管外延片及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种发光二极管外延片及其制备方法,属于半导体技术领域。外延片包括衬底、缓冲层、N型半导体层、多量子阱层和P型半导体层,多量子阱层包括交替层叠的n个量子阱和(n+1)个量子垒,每个量子垒包括依次层叠的第一子层、第二子层、第三子层、第四子层和第五子层,第一子层和第五子层为N型掺杂的氮化镓层,第二子层和第四子层为没有掺杂的氮化镓层,第三子层为没有掺杂的氮化铝层;(n+1)个量子垒的第一子层中N型掺杂剂的掺杂浓度沿外延片的层叠方向逐层减少,(n+1)个量子垒的第五子层中N型掺杂剂的掺杂浓度沿外延片的层叠方向逐层减少。本发明可提高LED的发光效率。
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