发明授权
- 专利标题: 一种发光二极管外延片及其制备方法
-
申请号: CN201810169179.1申请日: 2018-02-28
-
公开(公告)号: CN108598226B公开(公告)日: 2020-04-03
- 发明人: 张奕 , 董彬忠 , 王江波
- 申请人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 申请人地址: 浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福璐223号
- 专利权人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 当前专利权人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福璐223号
- 代理机构: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 徐立
- 主分类号: H01L33/06
- IPC分类号: H01L33/06 ; H01L33/32 ; H01L33/00
摘要:
本发明公开了一种发光二极管外延片及其制备方法,属于半导体技术领域。外延片包括衬底、缓冲层、N型半导体层、多量子阱层和P型半导体层,多量子阱层包括交替层叠的n个量子阱和(n+1)个量子垒,每个量子垒包括依次层叠的第一子层、第二子层、第三子层、第四子层和第五子层,第一子层和第五子层为N型掺杂的氮化镓层,第二子层和第四子层为没有掺杂的氮化镓层,第三子层为没有掺杂的氮化铝层;(n+1)个量子垒的第一子层中N型掺杂剂的掺杂浓度沿外延片的层叠方向逐层减少,(n+1)个量子垒的第五子层中N型掺杂剂的掺杂浓度沿外延片的层叠方向逐层减少。本发明可提高LED的发光效率。
公开/授权文献
- CN108598226A 一种发光二极管外延片及其制备方法 公开/授权日:2018-09-28
IPC分类: