基于垂直型纳米热电偶和超晶格光电结构的微型发电机
摘要:
本发明的基于垂直型纳米热电偶和超晶格光电结构的微型发电机,衬底为N型硅片,光电池的受光面上制作有绒面结构、第二氮化硅薄膜和背电场结构,超晶格结构上覆盖了一层外延的单晶硅薄膜,部分为P型掺杂区域,部分为N型掺杂区域,单晶硅薄膜上淀积了一层二氧化硅层钝化层,并开了一系列的电极接触孔,与光电池的基区电极和发射区电极相连;热电式发电机与光电池之间隔有第一氮化硅薄膜,垂直衬底表面的N型多晶硅纳米线簇和P型多晶硅纳米线簇构成了热电偶的半导体臂,通过热电堆下电极和热电堆上电极串联成热电堆,金属板位于热电堆的正上方,与热电堆上电极之间隔有第三氮化硅薄膜。
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