发明公开
- 专利标题: 基于垂直型纳米热电偶和超晶格光电结构的微型发电机
- 专利标题(英): Micro-generator based on vertical nano thermocouple and superlattice photoelectric structure
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申请号: CN201810208117.7申请日: 2018-03-14
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公开(公告)号: CN108540045A公开(公告)日: 2018-09-14
- 发明人: 廖小平 , 严嘉彬
- 申请人: 东南大学
- 申请人地址: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- 专利权人: 东南大学
- 当前专利权人: 东南大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- 代理机构: 南京苏高专利商标事务所
- 代理商 柏尚春
- 主分类号: H02S10/10
- IPC分类号: H02S10/10 ; H01L31/0224 ; H01L31/068 ; H01L35/32 ; B82Y40/00
摘要:
本发明的基于垂直型纳米热电偶和超晶格光电结构的微型发电机,衬底为N型硅片,光电池的受光面上制作有绒面结构、第二氮化硅薄膜和背电场结构,超晶格结构上覆盖了一层外延的单晶硅薄膜,部分为P型掺杂区域,部分为N型掺杂区域,单晶硅薄膜上淀积了一层二氧化硅层钝化层,并开了一系列的电极接触孔,与光电池的基区电极和发射区电极相连;热电式发电机与光电池之间隔有第一氮化硅薄膜,垂直衬底表面的N型多晶硅纳米线簇和P型多晶硅纳米线簇构成了热电偶的半导体臂,通过热电堆下电极和热电堆上电极串联成热电堆,金属板位于热电堆的正上方,与热电堆上电极之间隔有第三氮化硅薄膜。