Invention Publication
- Patent Title: 一种多晶硅铸锭生长控制方法及工艺
- Patent Title (English): Polycrystalline silicon cast ingot growth control method and process
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Application No.: CN201810635113.7Application Date: 2018-06-15
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Publication No.: CN108425148APublication Date: 2018-08-21
- Inventor: 宋帅迪 , 王强 , 张振娟 , 章国安
- Applicant: 南通大学
- Applicant Address: 江苏省南通市啬园路9号
- Assignee: 南通大学
- Current Assignee: 南通友拓新能源科技有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省南通市啬园路9号
- Agency: 南京瑞弘专利商标事务所
- Agent 许洁
- Main IPC: C30B28/06
- IPC: C30B28/06 ; C30B29/06

Abstract:
本发明公开了一种多晶硅铸锭生长控制方法及工艺,坩埚顶部和底部之间的温度差作为一个新引入的参数△t进行控制多晶硅铸锭生长工艺的长成,铸锭制备工艺过程中,曲线△t先增加后减小,再增加最后降到0,当△t峰值达到最大时,坩埚中的硅料开始熔化,直到硅料完全熔化时,△t会出现一个极小值的尖契,△t尖契的温度不可低于160℃,一旦低于这个温度,坩埚底部的籽晶层会出现熔穿现象,导致红区升高,同时坩埚边角处的红区会沿坩埚壁向上延伸,△t峰值判断法,可以作为硅锭铸锭过程的判断依据,并提供一种多晶硅铸锭生长工艺,本发明优点降低多晶硅中红区厚度,提高多晶硅的质量,提高多晶硅的利用效率,降低成本。
Public/Granted literature
- CN108425148B 一种多晶硅铸锭生长控制方法及工艺 Public/Granted day:2020-09-04
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IPC分类: