一种多晶硅铸锭生长控制方法及工艺
Abstract:
本发明公开了一种多晶硅铸锭生长控制方法及工艺,坩埚顶部和底部之间的温度差作为一个新引入的参数△t进行控制多晶硅铸锭生长工艺的长成,铸锭制备工艺过程中,曲线△t先增加后减小,再增加最后降到0,当△t峰值达到最大时,坩埚中的硅料开始熔化,直到硅料完全熔化时,△t会出现一个极小值的尖契,△t尖契的温度不可低于160℃,一旦低于这个温度,坩埚底部的籽晶层会出现熔穿现象,导致红区升高,同时坩埚边角处的红区会沿坩埚壁向上延伸,△t峰值判断法,可以作为硅锭铸锭过程的判断依据,并提供一种多晶硅铸锭生长工艺,本发明优点降低多晶硅中红区厚度,提高多晶硅的质量,提高多晶硅的利用效率,降低成本。
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