一种光学自由曲面的抛光装置及方法
摘要:
一种光学自由曲面的抛光装置及方法属于光学制造领域,该振动抛光装置包括振动抛光头、控制系统、PC机、五轴数控平台、抛光压力控制机构。控制系统、PC机分别位于可移动工作台上下方,控制系统中的驱动器与振动抛光头连接,数控系统与五轴数控平台通信,控制器与抛光压力控制机构连接;PC机与控制系统连接,对抛光参数设定后传至控制系统,控制整个抛光装置;抛光压力控制机构中的微位移驱动器件与抛光头连接。本发明采用振动辅助抛光方式,针对连续表面如轴对称和离轴非球面,可以同时实现对抛光头振动方式、抛光轨迹以及抛光压力的实时精确控制,能够达到亚微米级面形精度和亚纳米级表面粗糙度,抛光装置具有系统集成、体积小,移动方便等优点。
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