一种曲面盖板的镀膜装置、镀膜方法和可读存储介质
摘要:
本发明公开了一种曲面盖板的镀膜装置、镀膜方法和可读存储介质。该镀膜装置包括:溅射机构,用于向预定方向以一定的溅射速率喷射镀膜材料;移动机构,用于带动所述曲面盖板移动,将所述曲面盖板上不同的镀膜区域依次移动至预定方向上;修正喷嘴,用于将所述镀膜材料由溅射速率依次修正至与预定方向上的镀膜区域相对应的镀膜速率;其中,所述修正喷嘴包括入射口、出射口和连通所述入射口和出射口的腔体,其入射口套接在所述溅射机构的靶材喷头上,出射口朝向所述曲面盖板;所述修正喷嘴的出射口的大小可调,其通过调节出射口的大小来将所述镀膜材料由溅射速率修正至与预定方向上的镀膜区域相对应的镀膜速率。该镀膜装置能够解决曲面盖板的镀膜不均匀问题,提高曲面显示屏的画面质量。
0/0