- 专利标题: 一种曲面盖板的镀膜装置、镀膜方法和可读存储介质
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申请号: CN201810111870.4申请日: 2018-02-05
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公开(公告)号: CN108277464B公开(公告)日: 2019-09-10
- 发明人: 杨鹏 , 周伟杰
- 申请人: 信利光电股份有限公司
- 申请人地址: 广东省汕尾市区工业大道信利工业城一区第15栋
- 专利权人: 信利光电股份有限公司
- 当前专利权人: 信利光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省汕尾市区工业大道信利工业城一区第15栋
- 代理机构: 广州粤高专利商标代理有限公司
- 代理商 邓义华; 陈卫
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34 ; C23C14/54
摘要:
本发明公开了一种曲面盖板的镀膜装置、镀膜方法和可读存储介质。该镀膜装置包括:溅射机构,用于向预定方向以一定的溅射速率喷射镀膜材料;移动机构,用于带动所述曲面盖板移动,将所述曲面盖板上不同的镀膜区域依次移动至预定方向上;修正喷嘴,用于将所述镀膜材料由溅射速率依次修正至与预定方向上的镀膜区域相对应的镀膜速率;其中,所述修正喷嘴包括入射口、出射口和连通所述入射口和出射口的腔体,其入射口套接在所述溅射机构的靶材喷头上,出射口朝向所述曲面盖板;所述修正喷嘴的出射口的大小可调,其通过调节出射口的大小来将所述镀膜材料由溅射速率修正至与预定方向上的镀膜区域相对应的镀膜速率。该镀膜装置能够解决曲面盖板的镀膜不均匀问题,提高曲面显示屏的画面质量。
公开/授权文献
- CN108277464A 一种曲面盖板的镀膜装置、镀膜方法和可读存储介质 公开/授权日:2018-07-13
IPC分类: