本发明公开了一种三点固支薄膜阀压电泵，包括上盖、压电振子、密封圈、泵体、PDMS薄膜、出液腔道、固支螺钉、紧固螺钉和紧固螺母，所述泵体下端面开设进液口和出液口，所述在进液口和出液口的开口端各设置3个夹角为120度的空心小圆柱，在其中央设置螺纹孔，在其表面安放PDMS薄膜，利用此薄膜作为单向阀，所述通过固支螺钉与螺纹孔的配合进而固定PDMS薄膜，所述泵腔上方安放压电振子，所述压电振子上下端面各安放一个密封圈，所述通过紧固螺钉和紧固螺母的配合进而固定压电泵。本发明具有PDMS薄膜阀的开启压力小，压电泵的输出流量大，造价低廉等优点，在航空航天、农业滴灌等领域具有良好的应用前景。