一种基于平面镜视场调节的光学系统失调量解算方法
摘要:
本发明公开了一种基于平面镜视场调节的光学系统失调量解算方法,其实施步骤包括:基于平面镜光路反射原理建立光学系统的干涉检验模型,通过调节平面镜相对于理想位置的偏转角,对检测光路进行视场调节,从而获得不同视场下光学系统的波像差,基于波像差结果建立敏感度矩阵,对敏感度矩阵求伪逆,从而根据光学系统的敏感度矩阵、波像差实际值和波像差理想值计算光学系统的失调量。本发明适用于基于敏感度矩阵法求解光学系统的失调量,克服了传统求解过程中敏感度矩阵的建立受限于实验过程中干涉仪视场调节的问题。
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