加热装置及板状部件的制造方法
摘要:
提供一种能够将加热对象物均匀地加热的加热装置及板状部件的制造方法。加热装置(1)具备发出向加热对象部件(W)赋予的热的加热器(10)、和设在加热器(10)的表面(11f)上而支承加热对象部件(W)的面(Wf)的支承部件(20)。支承部件(20)支承加热对象部件(W),以使加热对象部件(W)的面(Wf)和支承部件(20)间不产生直接性的热传递、而将表面(11f)与加热对象部件(W)的面(Wf)之间保持为存在流体且流体不对流的预定的间隔(S)。板状部件的制造方法用支承部件(20)支承加热对象部件(W),用加热器(10)将加热对象部件(W)加热而制造板状部件。
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