基于飞秒光频梳的正弦相位调制干涉绝对测距装置与方法
摘要:
本发明公开了一种基于飞秒光频梳的正弦相位调制干涉绝对测距装置与方法。包括光源系统、正弦相位调制干涉系统和信号处理系统;光源系统输出包含不同波长的两路激光光束,射向正弦相位调制干涉系统,干涉光束射向信号处理系统进行相位解调,根据频率扫描干涉和多波长干涉原理得到待测距离;FSI中频率扫描范围和MWI中每个波长的值都由飞秒光频梳标定,将距离测量直接溯源至时间频率基准。本发明光路结构简单、测量范围大、精度高,可用于大型装备制造、精密计量等领域。
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