用于连通激光器和真空环境的管道及其制造方法与应用
摘要:
本发明公开了一种用于连通激光器和真空环境的管道,包括不锈钢管道和第二无氧铜管,不锈钢管道和第二无氧铜管之间连接有第一无氧铜管、三通接头、陶瓷管路和直通接头,三通接头的侧端接头上连接有吸气剂供给装置;还公开了其制造方法及其应用;本发明的管道完成连接后,可以在‑40~135℃范围内任何温度漏率均优于5.0×10‑13Pa·m3/s,且该管道可以满足长时间烘烤除气的工艺需求;该管道可使用冷封钳将无氧铜管冷封,冷封过程中激光器内的气体不会与外界环境发生交换,确保激光器内工作气体的纯度不会发生变化;冷封后的激光器与吸气剂供给装置组成的器件可进行其它工艺,然后进行第二次冷封,去除吸气剂供给装置后,得到高精度激光器产品。
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