- 专利标题: 用于连通激光器和真空环境的管道及其制造方法与应用
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申请号: CN201711439152.1申请日: 2017-12-27
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公开(公告)号: CN108092123B公开(公告)日: 2019-08-16
- 发明人: 鲍浪 , 张红波 , 谭锐
- 申请人: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
- 申请人地址: 湖北省武汉市江夏区阳光大道717号
- 专利权人: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
- 当前专利权人: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市江夏区阳光大道717号
- 代理机构: 武汉凌达知识产权事务所
- 代理商 刘念涛; 宋国荣
- 主分类号: H01S3/03
- IPC分类号: H01S3/03 ; H01S3/036
摘要:
本发明公开了一种用于连通激光器和真空环境的管道,包括不锈钢管道和第二无氧铜管,不锈钢管道和第二无氧铜管之间连接有第一无氧铜管、三通接头、陶瓷管路和直通接头,三通接头的侧端接头上连接有吸气剂供给装置;还公开了其制造方法及其应用;本发明的管道完成连接后,可以在‑40~135℃范围内任何温度漏率均优于5.0×10‑13Pa·m3/s,且该管道可以满足长时间烘烤除气的工艺需求;该管道可使用冷封钳将无氧铜管冷封,冷封过程中激光器内的气体不会与外界环境发生交换,确保激光器内工作气体的纯度不会发生变化;冷封后的激光器与吸气剂供给装置组成的器件可进行其它工艺,然后进行第二次冷封,去除吸气剂供给装置后,得到高精度激光器产品。
公开/授权文献
- CN108092123A 用于连通激光器和真空环境的管道及其制造方法与应用 公开/授权日:2018-05-29