本发明公开了一种阵列基板及其制作方法和显示装置。阵列基板包括多个薄膜晶体管，薄膜晶体管包括：有源层，有源层包括主沟道区和边缘沟道区，在沿第一方向上，边缘沟道区位于主沟道区的两侧；栅极，沿第一方向延伸，栅极在有源层所在平面的正投影覆盖主沟道区和边缘沟道区；其中，至少一侧的边缘沟道区的载流子浓度小于主沟道区的载流子浓度。本发明提供的阵列基板及其制作方法和显示装置，保证了薄膜晶体管主要体现的是主沟道区的特性，提升薄膜晶体管器件的可靠性，进而提升了显示装置的性能可靠性。