发明授权
- 专利标题: 一种面板缺陷检查装置
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申请号: CN201711392543.2申请日: 2017-12-21
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公开(公告)号: CN107941820B公开(公告)日: 2024-06-18
- 发明人: 王文 , 杨慎东 , 郭连俊
- 申请人: 苏州精濑光电有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市吴中区郭巷街道吴淞路892号2幢
- 专利权人: 苏州精濑光电有限公司
- 当前专利权人: 苏州精濑光电有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市吴中区郭巷街道吴淞路892号2幢
- 代理机构: 武汉开元知识产权代理有限公司
- 代理商 黄行军
- 主分类号: G01N21/95
- IPC分类号: G01N21/95
摘要:
本发明涉及面板光学检测装置结构技术领域,具体地指一种面板缺陷检查装置。包括沿Z向分置于待检测面板两侧的显微镜和光源,其特征在于:还包括X向滑移机构和Y向滑移机构;所述的Y向滑移机构滑动连接于所述X向滑移机构;所述的显微镜与光源滑动连接于所述Y向滑移机构;所述的Y向滑移机构上设置有在显微镜与光源沿Y向移动过程中保持显微镜与光源始终处于两两相对的同步状态的联动机构;所述的X向、Y向和Z向两两垂直相交。本发明的微观缺陷查看装置结构简单,操作方便,同步光源与显微镜能够最大程度将灯箱的造价,减少了电能的消耗,提高了面板的检查效率,具有极大的推广价值。
公开/授权文献
- CN107941820A 一种面板缺陷检查装置 公开/授权日:2018-04-20