发明公开
- 专利标题: 气体传感器和气体检测方法
- 专利标题(英): Gas sensor and gas detection method
-
申请号: CN201710866292.0申请日: 2017-09-22
-
公开(公告)号: CN107870183A公开(公告)日: 2018-04-03
- 发明人: 下舞贤一 , 服部将志 , 尾下顺二
- 申请人: 太阳诱电株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 太阳诱电株式会社
- 当前专利权人: 太阳诱电株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳; 季向冈
- 优先权: 2016-185086 2016.09.23 JP
- 主分类号: G01N27/00
- IPC分类号: G01N27/00
摘要:
本发明提供一种高精度地进行气体检测的气体传感器。气体传感器包括:第1检测元件、第2检测元件、第3检测元件和运算部。上述第1检测元件因特定气体的吸附而发生共振频率变化,包括具有规定结构的第1振子和设置在上述第1振子上的吸附上述气体的第1吸附膜。上述第2检测元件因上述气体的水分而发生共振频率变化,包括具有上述规定结构的第2振子和设置在上述第2振子上的吸附上述水分的第2吸附膜。上述第3检测元件包括具有上述规定结构的第3振子,因上述气体的温度而发生共振频率变化。上述运算部,基于上述第2检测元件的共振频率变化和上述第3检测元件的共振频率变化对上述第1检测元件的共振频率变化进行修正。
公开/授权文献
- CN107870183B 气体传感器和气体检测方法 公开/授权日:2021-04-16