气体传感器和气体检测方法
摘要:
本发明提供一种高精度地进行气体检测的气体传感器。气体传感器包括:第1检测元件、第2检测元件、第3检测元件和运算部。上述第1检测元件因特定气体的吸附而发生共振频率变化,包括具有规定结构的第1振子和设置在上述第1振子上的吸附上述气体的第1吸附膜。上述第2检测元件因上述气体的水分而发生共振频率变化,包括具有上述规定结构的第2振子和设置在上述第2振子上的吸附上述水分的第2吸附膜。上述第3检测元件包括具有上述规定结构的第3振子,因上述气体的温度而发生共振频率变化。上述运算部,基于上述第2检测元件的共振频率变化和上述第3检测元件的共振频率变化对上述第1检测元件的共振频率变化进行修正。
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