Invention Publication
- Patent Title: 到受体衬底的选择性微型器件转移
- Patent Title (English): Selective micro device transfer to receiver substrate
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Application No.: CN201680006964.4Application Date: 2016-01-21
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Publication No.: CN107851586APublication Date: 2018-03-27
- Inventor: 戈尔拉玛瑞扎·恰吉 , 伊赫桑阿拉·法特希
- Applicant: 戈尔拉玛瑞扎·恰吉 , 伊赫桑阿拉·法特希
- Applicant Address: 加拿大安大略省
- Assignee: 戈尔拉玛瑞扎·恰吉,伊赫桑阿拉·法特希
- Current Assignee: 维耶尔公司
- Current Assignee Address: 加拿大安大略省
- Agency: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
- Agent 曹正建; 陈桂香
- Priority: 2879465 2015.01.23 CA
- International Application: PCT/IB2016/050307 2016.01.21
- International Announcement: WO2016/116889 EN 2016.07.28
- Date entered country: 2017-07-24
- Main IPC: H01L21/58
- IPC: H01L21/58 ; H01L25/00

Abstract:
一种将微型器件从施体衬底选择性地转移到受体衬底上的接触焊盘的方法。微型器件通过施体力附接至施体衬底。该施体衬底和该受体衬底对准并且被放在一起,从而使得所选择的微型器件满足相应的接触焊盘。生成受体力以将所选择的微型器件固持到该受体衬底上的该接触焊盘。减弱该施体力并且移开该衬底,使得所选择的微型器件在该受体衬底上。公开了生成该受体力的若干方法,该若干方法包括粘合技术、机械技术和静电技术。
Public/Granted literature
- CN107851586B 到受体衬底的选择性微型器件转移 Public/Granted day:2021-07-06
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IPC分类: