Invention Publication
CN107845601A 利用平顶纳秒紫外激光拆键合的方法
无效 - 驳回
- Patent Title: 利用平顶纳秒紫外激光拆键合的方法
- Patent Title (English): Method for realizing de-bonding through using flat-top nanosecond ultraviolet laser
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Application No.: CN201710992023.9Application Date: 2017-10-23
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Publication No.: CN107845601APublication Date: 2018-03-27
- Inventor: 王承伟 , 徐海宾 , 王伟 , 赵裕兴
- Applicant: 苏州德龙激光股份有限公司 , 江阴德力激光设备有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
- Assignee: 苏州德龙激光股份有限公司,江阴德力激光设备有限公司
- Current Assignee: 苏州德龙激光股份有限公司,江阴德力激光设备有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
- Agency: 江苏圣典律师事务所
- Agent 王玉国
- Main IPC: H01L21/683
- IPC: H01L21/683

Abstract:
本发明公开了利用平顶纳秒紫外激光拆键合的方法,激光以呈平顶分布的光斑辐照于键合片,键合片由载体、涂覆至载体的释放层、涂覆至释放层的粘合层、涂覆至晶圆的保护层以及晶圆键合形成。纳秒紫外激光辐照键合片,打断键合胶的化学键,使其失去黏性,从而分开键合的载体与晶圆。该方法不仅避免了键合胶的损伤,改善了拆键合质量,而且提高了激光拆键合的加工效率。平顶分布的紫外激光辐照键合片,其加工效率比高斯分布的激光高数倍。
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