利用平顶纳秒紫外激光拆键合的方法
Abstract:
本发明公开了利用平顶纳秒紫外激光拆键合的方法,激光以呈平顶分布的光斑辐照于键合片,键合片由载体、涂覆至载体的释放层、涂覆至释放层的粘合层、涂覆至晶圆的保护层以及晶圆键合形成。纳秒紫外激光辐照键合片,打断键合胶的化学键,使其失去黏性,从而分开键合的载体与晶圆。该方法不仅避免了键合胶的损伤,改善了拆键合质量,而且提高了激光拆键合的加工效率。平顶分布的紫外激光辐照键合片,其加工效率比高斯分布的激光高数倍。
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