• 专利标题: 具有单自由端的弯曲梁微谐振式静电计及电荷检测方法
  • 专利标题(英): Micro-resonance electrometer based on bending beams having single free ends and charge detection method
  • 申请号: CN201710891588.8
    申请日: 2017-09-27
  • 公开(公告)号: CN107796996A
    公开(公告)日: 2018-03-13
  • 发明人: 谢金陈冬阳王勇王银申徐中贵
  • 申请人: 浙江大学
  • 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
  • 专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
  • 代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司
  • 代理商 傅朝栋; 张法高
  • 主分类号: G01R29/12
  • IPC分类号: G01R29/12 G01R29/24
具有单自由端的弯曲梁微谐振式静电计及电荷检测方法
摘要:
本发明公开了一种具有单自由端的弯曲梁微谐振式静电计及电荷检测方法。传感器中设有接地电极、基底、谐振子、驱动电极、感应电极、输入电极和锚端。谐振子上所设的两个弯曲梁的两端相互连接构成固定端和检测端;固定端与接地电极连接;检测端通过柔性支撑梁与锚端连接;检测端与输入电极构成平板式输入电容;弯曲梁上平板电极的两侧分别与驱动电极和感应电极构成驱动电容和感应电容。本发明提出了新型的具有单自由端的弯曲梁的设计使谐振器工作在弹性变形模态,基于弹性变形模态提出新型电荷感应机制,具有高灵敏度的优势;并且有效的消除谐振器的非线性影响和降低频率的温漂系数。
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